高压电源是设备的关键技术之一，它主要为电子提供加速电压，其性能好坏直接决定电子束焊接工艺和焊接。电子束焊机用高压电源与其它类型的高压电源相比，具有不同的技术特性，技术要求主要为纹波系数和稳定度，纹波系数要求小于1%，稳定度为±1%，甚至纹波系数小于0.5%，稳定度为±0.5%，同时重复性要求小于0.5%。以上要求均根据电子束斑和焊接工艺所决定。
线性调整率一般为0.05%～0.1%/v，drs安防用导轨开关电源厂商，有的可达0.01%/v；负载调整率一般为0.3～0.5%/ma，有的可达0.01%/ma。新型组合式电源ic：升压式dc/dc 变换器的但纹波及噪声电压较大，低压差线性稳压器效率低但噪声，drs安防用导轨开关电源供应商，这两者结合组成的双输出电源ic 可较好地解决效率及噪声的问题。例如，数字电路部分采用升压式dc/dc 变换器电源而对噪声敏感的电路采用ldo 电源。这种电源ic 有max710/711，max1705/1706 等。
驱动光耦可以使用指针万用表的电阻挡，一般选取x10ω挡就可以，可以使用此挡点亮光耦内部的发光二极管，如果光耦输出端无须接电源，河南drs安防用导轨开关电源，则可直接使用数字万用表二极管挡测试输出响应，如果光耦输出需要带电源，则测试时还需给光耦通电。有些电路板开关电源给电后，光耦就会得电，要测试光耦直接给前级驱动电流，万用表再测试响应电压就可以。
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